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51.
The quantitative optical measurement of deep sub-wavelength features with sub-nanometer sensitivity addresses the measurement challenge in the semiconductor fabrication process. Optical scatterings from the sidewalls of patterned devices reveal abundant structural and material information. We demonstrated a parametric indirect microscopic imaging (PIMI) technique that enables recovery of the profile of wavelength-scale objects with deep sub-wavelength resolution, based on measuring and filtering the variations of far-field scattering intensities when the illumination was modulated. The finite-difference time-domain (FDTD) numerical simulation was performed, and the experimental results were compared with atomic force microscopic (AFM) images to verify the resolution improvement achieved with PIMI. This work may provide a new approach to exploring the detailed structure and material properties of sidewalls and edges in semiconductor-patterned devices with enhanced contrast and resolution, compared with using the conventional optical microscopy, while retaining its advantage of a wide field of view and relatively low cost.  相似文献   
52.
53.
赵芸  沈旸 《建筑学报》2021,(4):114-119
对四川穿斗民居的田野调查发现,工匠使用的术语存在一物多名、多物同名、异物类名等现象.在梳理田野调查、已有文献大木作术语的基础上,通过设计和施工阶段术语的不同作用,分析具体营造中工匠的思维与意识.同时从术语的角度,就穿斗结构以及术语的重名、异名现象提出新的认识.  相似文献   
54.
张铭  程晓鸿  王晓强  姜赟 《江苏建筑》2021,(4):90-93,113
结合工程实例,在生态修复工程中,分析施工地区的地层土质情况,进而采用振冲砂石桩法对淤泥土层进行地基处理,介绍了砂石桩加固地基的原理和施工工艺.采用标贯试验评价了地基的承载效果,结果表明:采用振冲砂石桩加固淤泥质软土地基,对提高地基的承载力有明显效果,减小了复合地基整体变形,有利于生态和环保.该案列为类似的生态修复工程中应用砂石桩复合地基提供了参考.  相似文献   
55.
张扬  韩春雷  孙玮琢  鹿瑶  杨笛 《现代导航》2021,12(4):293-296
在现代信息化战争中依据战场态势变化进行合理威胁评估,对实现指挥系统自动化具有重要意义。为了克服传统规则算法评估能力的局限,设计了一种基于深度学习的新型智能威胁评估算法。首先设定了防空威胁评估指标选取原则,在此基础上从多个不同角度出发建立了反映空中目标威胁的指标体系,然后构建深度神经网络模型予以解决。新算法的优点在于威胁评估快速可信、易于实现,且对于不断变化的空情威胁可进行持续更新优化。最后,通过典型作战场景的仿真数据验证了模型的有效性和可行性。  相似文献   
56.
57.
Food Science and Biotechnology - Oat contains a variety of phenolic compounds, including avenanthramides, which are found only in oats. This study was conducted to establish the quantitative...  相似文献   
58.
59.
60.
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